材料性能
项目
规格
检测方法
生长方式
直拉法
--
结晶性
单晶
--
导电类型
N型
PN 测试仪
尺寸
M10：182.2x182.2φ247mm
G12：210x210 φ295mm
G12-R：182.3x210 φ272mm
硅片分选机
厚度
M10：90-160µm
G12：90-160µm
G12-R：90-160µm
硅片分选机
| 项目 | 规格 | 检测方法 |
|---|---|---|
| 生长方式 | 直拉法 | -- |
| 结晶性 | 单晶 | -- |
| 导电类型 | N型 | PN 测试仪 |
| 尺寸 | M10：182.2x182.2φ247mm G12：210x210 φ295mm G12-R：182.3x210 φ272mm |
硅片分选机 |
| 厚度 | M10：90-160µm G12：90-160µm G12-R：90-160µm |
硅片分选机 |
电性能
项目
规格
检测方法
电阻率
0.6-1.6<Ω·cm>
硅片分选机
少子寿命
≥800<µs>
少子寿命测试仪BCT-400
氧含量
≤12<ppma>
傅里叶变换红外光谱仪
FTIR (ASTM F121-83)
碳含量
≤1<ppma>
傅里叶变换红外光谱仪
FTIR (ASTM F123-91)
| 项目 | 规格 | 检测方法 |
|---|---|---|
| 电阻率 | 0.6-1.6<Ω·cm> | 硅片分选机 |
| 少子寿命 | ≥800<µs> | 少子寿命测试仪BCT-400 |
| 氧含量 | ≤12 |
傅里叶变换红外光谱仪 FTIR (ASTM F121-83) |
| 碳含量 | ≤1 |
傅里叶变换红外光谱仪 FTIR (ASTM F123-91) |
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